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迫于美國(guó)壓力開(kāi)始延遲向中芯發(fā)貨?光刻巨頭ASML官方回應(yīng)

來(lái)源：觀察者網(wǎng) 2019-11-08 14:27:08

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荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商阿斯麥爾(ASML)近日宣布，或?qū)⑼七t向中國(guó)半導(dǎo)體制造商交付極紫外光光刻機(jī)(EUV)。該公司發(fā)言人表示，此決定是因?yàn)槌隹谠S可證到期，目前正在向荷蘭政府申請(qǐng)新的許可證。

作為極紫外光刻芯片工具(EUV)的全球唯一供應(yīng)商，延遲發(fā)貨將對(duì)中國(guó)芯片制造造成重?fù)簟６舜问艿接绊懙闹袊?guó)公司，疑為中芯國(guó)際(SMIC)。

日經(jīng)新聞援引消息人士的話(huà)稱(chēng)，ASML成為美國(guó)政府的“犧牲品”，“延遲發(fā)貨”的一大原因來(lái)自于美國(guó)政府的壓力。

對(duì)此，ASML在7日回應(yīng)，指出公司正在申請(qǐng)?jiān)S可證，但日經(jīng)新聞所述“延遲出貨”僅為其媒體推測(cè)，ASML對(duì)此事從未評(píng)論或確認(rèn)。

中芯國(guó)際也就此事回應(yīng)稱(chēng)，公司的EUV還處于“紙面工作”階段，尚未進(jìn)行相關(guān)活動(dòng)。中芯國(guó)際強(qiáng)調(diào)，目前，公司的先進(jìn)工藝研發(fā)進(jìn)展順利，研發(fā)與生產(chǎn)的連接一切正常，客戶(hù)與設(shè)備導(dǎo)入均正常運(yùn)作。

極紫外光光刻機(jī)(EUV)，圖自ASML官網(wǎng)

日媒：受到美國(guó)政府的壓力

據(jù)路透社6日?qǐng)?bào)道，該公司發(fā)言人莫尼克·莫爾斯(Monique Mols)表示，根據(jù)瓦圣納協(xié)議，ASML出口EUV到中國(guó)需取得荷蘭政府的出口許可。該出口許可于今年到期，ASML已經(jīng)于到期前重新進(jìn)行申請(qǐng)，目前正在等待荷蘭政府核準(zhǔn)，預(yù)計(jì)將耗資1億歐元(約7.7億元人民幣)。

他說(shuō)：“ASML只是在遵守法律。法律規(guī)定，出口裝運(yùn)EUV需要出口許可證?，F(xiàn)在我們已經(jīng)重新申請(qǐng)。”

《日經(jīng)新聞亞洲評(píng)論》則在6日的報(bào)道稱(chēng)，ASML此次推遲發(fā)貨并不僅僅是許可證問(wèn)題，而是受到來(lái)自美國(guó)政府的壓力。

“因美國(guó)壓力決定延遲發(fā)貨”，日經(jīng)新聞報(bào)道

報(bào)道援引消息人士稱(chēng)，ASML暫時(shí)決定推遲EUV設(shè)備的交付，“是因?yàn)樗幌胱屆绹?guó)政府對(duì)此感到不安”，因?yàn)镋UV是目前最先進(jìn)的芯片光刻機(jī)。

他補(bǔ)充道：“但與此同時(shí)，考慮到中國(guó)是現(xiàn)如今增長(zhǎng)最快的芯片市場(chǎng)，ASML也不想讓中國(guó)及其中國(guó)客戶(hù)對(duì)此失望不滿(mǎn)。”

據(jù)日經(jīng)新聞數(shù)據(jù)，ASML公司92億美元(約644億元人民幣)的2018年年度銷(xiāo)售額中，約有16%來(lái)自英特爾和美光等美國(guó)公司。另外，ASML制造機(jī)器所需的零部件，有五分之一是在美國(guó)工廠生產(chǎn)的。

而中國(guó)市場(chǎng)對(duì)于ASML也變得日漸重要：2018年，該公司19%的銷(xiāo)售額來(lái)自中國(guó)。

該知情人士表示，原計(jì)劃在2019年底交付給中國(guó)公司的EUV光刻機(jī)，將預(yù)計(jì)延遲至2020年年中。

被延遲發(fā)貨的中國(guó)廠商疑為中芯

據(jù)日經(jīng)新聞報(bào)道，作為中國(guó)首家訂購(gòu)EUV的中國(guó)芯片制造商，中芯國(guó)際被認(rèn)為是此次受影響的訂購(gòu)商。盡管據(jù)路透社報(bào)道，ASML尚未就此事做出證實(shí)。

目前，業(yè)內(nèi)已達(dá)成共識(shí)，必須使用EUV光刻機(jī)才能使半導(dǎo)體芯片進(jìn)入7nm，甚至5nm時(shí)代。

去年5月，中國(guó)最大的芯片制造公司中芯國(guó)際向荷蘭ASML訂購(gòu)了首臺(tái)EUV光刻機(jī)，價(jià)值1.2億美元，幾乎相當(dāng)于該司2017年全部?jī)衾麧?rùn)。光刻機(jī)原計(jì)劃于2019年年初交付。

而在去年12月，臨近交貨時(shí)間，ASML突發(fā)大火。根據(jù)官網(wǎng)信息，火災(zāi)摧毀元件供應(yīng)商Prodrive工廠的部分庫(kù)存、生產(chǎn)線(xiàn)，因此，2019年年初供貨情況預(yù)計(jì)將會(huì)遞延。

2019年已經(jīng)臨近尾聲，EUV仍未交付至中芯，并再次面臨“延遲通知”的風(fēng)險(xiǎn)。而ASML將此歸因于出口許可證到期。

2018年12月，ASML一供應(yīng)商工廠發(fā)生火災(zāi)，圖自荷蘭媒體

ASML回應(yīng)：“延遲出貨”僅為其媒體推測(cè)

ASML于7日向《科創(chuàng)板日?qǐng)?bào)》澄清稱(chēng)，關(guān)于日經(jīng)新聞?dòng)嘘P(guān)中芯國(guó)際相關(guān)報(bào)道有誤，“延遲出貨”僅為其媒體推測(cè)，ASML從未評(píng)論或確認(rèn)，對(duì)其將推測(cè)直接定性為事實(shí)作為新聞標(biāo)題并在文中闡述，表示抗議。ASML強(qiáng)調(diào)，對(duì)全球客戶(hù)一視同仁。

ASML最新回應(yīng)，微博@財(cái)聯(lián)社APP 截圖

7日下午，中芯國(guó)際也就此事向《上海證券報(bào)》回應(yīng)稱(chēng)，公司的EUV還處于“紙面工作”階段，尚未進(jìn)行相關(guān)活動(dòng)。中芯國(guó)際強(qiáng)調(diào)，目前，公司的先進(jìn)工藝研發(fā)進(jìn)展順利，研發(fā)與生產(chǎn)的連接一切正常，客戶(hù)與設(shè)備導(dǎo)入均正常運(yùn)作。

光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域的核心設(shè)備之一，ASML公司則是這個(gè)行業(yè)內(nèi)的領(lǐng)軍企業(yè)。尤其EUV光刻機(jī)上，ASML處于“壟斷”地位——這家公司是全球唯一能生產(chǎn)EUV的企業(yè)。

EUV光刻機(jī)作為現(xiàn)今最先進(jìn)的芯片制造設(shè)備，是唯一能夠生產(chǎn)7nm以下制程的設(shè)備，因此，其也被稱(chēng)為“突破摩爾定律的救星”。

關(guān)鍵詞：美國(guó)壓力延遲發(fā)貨光刻巨頭